LEGEX系列是初項達0.28μm的高精度CNC三坐標測量機，對所有可能產生誤差的因素進行嚴格分析并排除或最大程度地降低其影響。

　　●本體底座部分嚴選材料，采用密封結構以實現高剛性、高衰減性。采用FEM結構解析模擬進行徹底的應力分析，保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。此外，還引入了各種技術來實現超高精度，如驅動單元的結構和振動對策等。

　　●用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元（自社開發），該單元采用熱膨脹系數為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有極高的位置檢測能力，可實現超高精度的機器控制功能。此外，提供豐富的選件，包括觸發式和非觸發式測頭，數據處理部等支持各種工件輕松實現高精度測量。

　　●初項精度：0.28μm~