Leitz PMM-Xi系列高性能測量機(jī)將超高精度與優(yōu)異的動態(tài)性能結(jié)合在一起，測量周期短、測量效率高，提供了快速數(shù)據(jù)采集和先進(jìn)的高速掃描技術(shù)，從而進(jìn)一步提升了過程控制的效率。源自Leitz的三維探測技術(shù)，具備高速掃描功能，能夠快速采集大量數(shù)據(jù)。Leitz PMM-Xi系列超高精度測量機(jī)還能夠完成形狀測量。